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当前位置:首页  >  产品中心  >  半导体前道工艺设备  >  1 光刻设备  >  WS-1000湿法匀胶工作台

湿法匀胶工作台

简要描述:Laurell的WS-1000系列湿法匀胶工作台的配置和测试模块建造和运输安装时间短。易于装载和操作,所有物品都让操作员方便地触及。

  • 产品型号:WS-1000
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-05
  • 访  问  量: 128

详细介绍

1. 尺寸

48英寸(宽)x433/8英寸(深)x741/4英寸(高)(121.9厘米(宽)x110.04厘米(深)x188.60厘米(高)

2. 典型工艺

蚀刻

显影—水性/溶剂

清洁—水性/溶剂

硫酸/过氧化物(原位混合)

HBr

温控显影

漂洗/烘干

3. 特征

全聚丙烯结构(可提供自熄功能)                          

适合安装任何Laurell旋转处理器

穿孔湿甲板(易于拆卸)

湿式增压室

带仪表的排气增压室

下方为加热器、泵、容器的隔离组件/抽屉......

4. 选项

触摸屏控制界面

观看LaurellTouch演示视频

处理器排气联锁(EDC™型号标配)         

化学加热

通过压力容器物料搅拌(磁性)

冲洗至电阻率

排水分流器

真空装载棒

晶圆盒支架

泄漏检测

灯塔

如有需要,可提供高材料                        

5. 阻燃选项

WS-1000-CP7-D—聚丙烯配方其阻燃特性符合严格的FMRC4910测试标准对于大多数方面的阻燃性、自熄性和烧穿特性。这种先进的材料还达到或超过了低烟雾产生和小有毒副产物的测试标准。


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