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分子束外延MBE

简要描述:Veeco 的 GEN20™ MBE 系统是一种超灵活的工具,其设计可针对 III-V 族和新兴材料进行配置,包括需要集成电子束技术的应用。该系统采用生产设计技术,允许可选的集群工具晶圆传输系统,以实现理想的实验室到晶圆厂迁移。

  • 产品型号:GEN20
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-05
  • 访  问  量: 132

详细介绍

1. 产品概述:

Veeco 的 GEN20™ MBE 系统是一种超灵活的工具,其设计可针对 III-V 族和新兴材料进行配置,包括需要集成电子束技术的应用。该系统采用生产设计技术,允许可选的集群工具晶圆传输系统,以实现理想的实验室到晶圆厂迁移。 

材料研究和预生产环境的理想选择

垂直源到基板方向,具有 12 个 MBE 源端口和添加电子束功能的选项

手动或自动晶圆转移选项可配置的低温板、机械手、百叶窗和原位监测设备

模块化设计允许多两个增长模块

Veeco 的 GEN20™ MBE 系统是一种超灵活的工具,其设计可针对 III-V 族和新兴材料进行配置,包括需要集成电子束技术的应用。该系统采用生产设计技术,允许可选的集群工具晶圆传输系统,以实现理想的实验室到晶圆厂迁移。

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