等离子增强原子层沉积PEALD

1. 用于高研究的先进能力

我们的 Fiji® 系列是一种先进的模块化、高真空热原子层沉积（ALD）系统，专为满足当今快速发展的技术需求而设计。该系列系统以其灵活的架构著称，能够支持多种驱体和等离子体气体配置，使用户能根据具体的沉积要求进行精确调整。这种适应性使得 Fiji® 系列在各种薄膜材料的沉积应用中表现出色，特别适合于半导体、太阳能电池、光电器件以及纳米技术等领域。

作为该系列的最新产品，Fiji G2 是一款下一代 ALD 系统，以其性能和创新的技术再次提升了原子层沉积的标准。Fiji G2 不仅能够执行热成像沉积，还支持等离子体增强沉积（PEALD），为用户提供更广泛的沉积模式选择。这一特性使得该系统在处理对膜质量和厚度的应用时，具有更大的灵活性和优势。

Fiji® 系列的直观用户界面使得操作和监控过程变得简单方便，用户可以随时轻松地监控系统状态，并根据需要实时调整配方和处理流程。这种直观性不仅降低了操作复杂度，还大大提高了生产效率，帮助用户快速响应市场需求变化。

2. FIJI的高功能包括：

有的腔室涡轮增压泵系统

改进的等离子体设计

符合人体工程学的操作界面

原位椭圆偏振仪

原位石英晶体微天平

综合臭氧

手套箱接口

Fiji® 提供多达 6 条驱体管线，可容纳固体、液体或气体驱体，以及 6 条等离子气体管线，在紧凑且经济的占地面积中提供了显着的实验灵活性。