溅射或热蒸发薄膜沉积系统

Kurt J. Lesker Company® NANO 36™ 是我们优化的入门级沉积系统。我们的腔室设计特别适合手套箱集成。NANO 36 具有更高的功能和更小的占地面积，提供了实惠的价格点，同时保持了您期望从 KJLC 获得的质量。

NANO 36 与以下沉积技术兼容：

• 热蒸发（最多四个 2 英寸船组件）。

• Torus® 磁控溅射源（最多三个 2“ 或 3" 源）。

• 1cc 或 10cc LTE 有机沉积源（最多四个）。

• 两个热源和两个 LTE 源的组合。

• 可根据要求提供定制配置。

NANO 36 提供 Pfeiffer 260 L/s 涡轮分子泵和 KJLC RV206 油封粗泵作为标准组件，并可选择 Edwards nXDS6i - 3.6 cfm （6.2 m）3/hr） 涡旋粗抽泵。

NANO 36 的基本压力规格为 9 x 10-7托。

Nano 36 提供单一和多种技术沉积选项（仅限热 + LTE），包括热蒸发和磁控溅射 （Torus）。

只有 KJLC 提供 Mag-Keeper 溅射源，该溅射源在阴极体中具有零 O 形圈和磁耦合靶材，可轻松更换靶材。（通过手套箱改变目标时的游戏规则改变者！我们的冷却井设计可在 200 瓦/.in2 ≥功率密度下运行。该阴极设计用于在 3 英寸阴极上溅射高达 0.375 英寸厚的目标，在 2 英寸阴极上溅射高达 0.250 英寸厚的目标。高强度设计能够溅射高达 0.125 英寸厚的 Fe 靶材和 3 英寸阴极，或 0.0625 英寸厚的 Fe 靶材和 2 英寸的 Mag-Keepers。如果没有压紧夹或暗空间屏蔽，这种阴极能够运行≤低至 1mTorr。圆顶百叶窗设计消除了标准翻转或摆动百叶窗所需的额外交叉污染屏蔽需求。