详细介绍
200 mm 探针台,用于收集高精度测量数据,速度提高 5 倍
新型 Cascade SUMMIT200先进的 200mm 探针系统,对于在单个或体积晶圆上收集高精度测量数据至关重要;越快越好。
SUMMIT200探针台专为研发、设备表征/建模或利基生产应用而设计,可在超低噪声、直流、射频、毫米波和太赫兹应用中进行温度范围内的精确电气测量,具有半自动和现在的全自动操作,可尽快获得准确数据。
下一代探头系统支持 PureLine™ 技术,可实现市场上低的噪声水平之一。获得AttoGuard® 和 MicroChamber® 技术可显著改善低泄漏和低电容测量。新的先进200毫米快速平台,盒式处理多达50片晶圆,高吞吐量测试功能,以及-60°C至300°C的宽温度范围,为科学家,研发和测试工程师或生产操作员提供了快速完成工作所需的一切。
SUMMIT200探针台支持Contact Intelligence™,这是一种技术,可实现自主半导体测试。创新的系统设计和先进的图像处理技术强强结合,提供了一个独立于操作员的解决方案,可在任何时间和温度下获得高度可靠的测量数据。
该SUMMIT200具有广泛的应用范围和满足任何未来需求的升级路径,提供先进的 200 mm 探针台平台,可对现有和未来的设备和 IC 进行快速、高精度和大批量测量。
*SUMMIT200 平台还提供不同版本,用于不需要上述增强功能集的测量任务。
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