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Kurt J. Lesker Company OCTOS集群工具是经过验证的研发和中试生产系统，用于在多个工艺室之间进行真空传输。®
典型应用包括磁隧道结和自旋逻辑器件（GMR、TMR、MRAM、STT）、有机发光器件（OLED）、太阳能电池（PV、OPV）。
OCTOS 集群工具具有单个或多个基板盒负载锁定功能，并允许在真空中完成工艺配方步骤，而无需将基材暴露在大气中。OCTOS能够自动按顺序处理基材，一次处理一个基材，或者并行处理基材，以提高产量。提供底物跟踪功能，并标配全过程数据记录。
工艺室围绕中央机器人分配室布置，以适应您的应用。
KJLC 的 eKLipse 软件允许用户友好的配方创建以及可靠、不间断的控制器，无论计算机用户界面的状态如何，都可以完成过程。有关此直观、可靠的软件包的更多信息，请参阅“软件"选项卡
自 1999 年以来，KJLC 一直在制造 OCTOS 集群工具平台。我们的大多数 OCTOS 集群工具已成为其所有者的主力军，并且仍在日常使用，包括已经处理了超过 100 万个基材的工具。
电子束蒸发
热蒸发
磁控溅射
有机蒸发
原子层沉积
HV 或 UHV 工艺模块
等离子清洗
基板退火
口罩储存和原位口罩更换
手套箱集成
定制工艺模块
转移到真空分析室，如XPS
与第三方工艺室（如 PLD 或 CVD）集成
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