单腔立式甩干机

1. 产品概述：

单腔立式甩干机是一种用于实现物料高效脱水的设备。其通过特定的机械结构和工作原理，能快速将物料中的水分分离出去，达到甩干的目的。

2. 设备应用：

o 半导体行业：在半导体制造过程中，可用于晶圆等半导体材料的清洗后脱水，确保晶圆表面干燥，避免水分残留对后续工艺产生影响，例如在光刻、镀膜等工序前，保证晶圆的洁净度和干燥度，有助于提高半导体产品的质量和性能 1。

o 电子元件制造：对电子元件进行清洗后的脱水处理，能有效去除元件表面的水分，防止水分对元件的性能和可靠性造成损害，如在印刷电路板（PCB）制造中，可使清洗后的 PCB 快速干燥，为后续的焊接、组装等工序提供良好条件。

3. 设备特点：

优点：清洗系统应用于各种清洗和干燥工艺。不同配置（可放置台面操作的设备、单腔单立、双腔）；适用于晶圆尺寸200mm；佳的占地，设备带有滚轮可移动；可靠性；模块化结构；其便于维修；易于使用和操作。

一般特征：适用于晶圆直径至200mm；25片晶圆单盒工艺；标准的高边和低边花篮；可选内置电阻率检测传感器来控制晶圆的清洗工艺；用冷或热的N2辅助晶圆干燥；离心头容易更换。

去静电装置安装于工艺腔室区：去离子水回收；去阻率检测装置；机械手自动加载；可放置台面操作的设备、单腔单立、双腔；去离子水加热系统；底座置放不锈钢滚轮；溶剂灭火装置；适用特殊设计的花篮。