全自动微形状测量机

1. 产品概述：

ET4000A 是小坂研究所推出的一款多功能、全自动的微细形状测量机，在平板显示器（FPD）、晶圆、硬盘等纳米尺度的测量领域应用广泛。

2. 设备应用：

o 半导体行业：用于晶圆表面的形貌、台阶高度、粗糙度等参数的精确测量，对半导体芯片的制造工艺控制和质量检测至关重要，比如测量晶圆表面的薄膜厚度、刻蚀深度等。

o 平板显示领域：可检测 FPD 基板的表面平整度、段差、微观结构等，保障平板显示器的显示质量和性能，像液晶面板、OLED 面板等的相关测量。

o 硬盘制造：能够测量硬盘盘片的表面粗糙度、磁头飞行高度等关键参数，对于提高硬盘的存储密度和读写性能有重要意义。

o 精密加工行业：适用于各种精密机械零部件的表面形状、尺寸精度测量，有助于提升产品的加工精度和质量控制水平，例如精密模具、微型机械零件等的测量。

o 科研领域：为材料科学、纳米技术等科研项目提供高精度的微观形状测量数据，支持相关领域的研究和创新，如纳米材料的表面特性研究、微机电系统（MEMS）器件的形貌分析等。

ET4000A：多功能全自动微形状测量机

特点：这款测量机具备多功能性，能够满足各种复杂的测量需求。

应用：非常适合需要高精度、多功能测量的应用场景，如科研、精密制造等。

ET4000L：可处理大尺寸的全自动微形状测量机

特点：这款测量机特别设计用于处理大尺寸样品，具有的稳定性和精度。

应用：非常适合需要测量大尺寸基板、晶圆等的应用场景，如平板显示器制造、半导体行业等。

ET4000M：合理、高性能、通用的微形状测量机

特点：这款测量机具有合理的价格、高性能和通用性，能够满足大多数测量需求。

应用：非常适合需要高精度测量但预算有限的应用场景，如质量控制、产品研发等。

ET4000系列全自动微形状测量机提供了多种型号选择，以满足不同应用场景和预算需求。无论您需要测量小尺寸还是大尺寸样品，高精度还是多功能性，ET4000系列都能提供合适的解决方案。

3. 设备特点：

o 高精度测量：具备出色的台阶再现性与线性度，保证测量结果的准确性和可靠性，例如在测量微小台阶高度时能精确到纳米级别。

o 超高真直度：确保量测图形不受干扰，可在真直度保证下进行长距离测量，有利于对大型工件或具有长行程特征的样品进行精确测量。

o 先进的检出器：采用超低噪音直动式 LVDT，超低测定力的触针可任意调节，既能满足不同测量需求，又能避免对被测物体表面造成损伤。

o 高分辨率定位：配备高分辨率的 CCD，可即时进行高精度定位测量，有助于快速准确地找到测量位置，提高测量效率。

o 多功能性：可对应各种国际规范，测定参数多达 60 多种，满足不同行业和应用场景对测量参数的多样化需求。

o 广泛的适用性：适用于各种与纳米材料有关的 MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜 / 化学涂层以及平板显示等领域，具有很强的通用性。

4. 产品参数（以P5551A为例）：

o 测定工件：

o 最大工件尺寸：210×210mm 至 300×400mm。

o 最大工件厚度：50mm。

o 最大工件重量：2kg。

o 检出器（pickup）：

o z 方向测定范围：max.100μm。

o z 方向分解能：0.1nm。

o 测定力：0.5μN 至 500μN。

o 触针半径：0.5μm、2μm。

o 驱动方式：直动式。

o x 轴（基准轴）：

o 移动量（最大测长）：100mm。

o 移动的真直度：0.005μm/5mm。

o 测定速度：0.005～2mm/s。

o 位置定位时速度：max.10mm/s。

o 线性尺（linear scale）分解能：0.01μm。

o 位置定位再现性：±5μm。

o 滑轨材质：在铸铁（CD - 5）上镀上硬质 Cr，无润滑（于移动台侧，使用铁弗龙折动材料）。

o 驱动：DC motor + dynamic belt。

o y 轴（位置决定用）：

o 移动量：52mm。

o 移动速度：max.3mm/s。

o 滑轨：cross roller 滑轨。

o 驱动：DC motor + 滚珠螺杆（p = 2mm）。

o 检出器自动停止机能。

o 工件台：

o 工件台尺寸：210mm×210mm。

o 自动倾斜量：x 为 ±1mm/150mm，y 为 ±1mm/186mm。

o 分解能：0.25μm。

o 驱动：pulse motor。

o 其他：

o 全自动量测功能。

o 工件观察：max.80 倍（可选购其它高倍率 CCD）。

o 床台材质为花岗岩石。

o 段差测定再现性：1δ，5a° 以内。

o 防振台（选购）：落地型或桌上型。

o 电源：AC100V±10%，50/60Hz，800VA。

o 本体外观尺寸：W660×D580×H660mm（不含防震台）。