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全自动微形状测量机

简要描述:它是一款全自动微形状测量机,具有出色的精度、稳定性和功能性,非常适合测量 FPD 基板、晶圆、硬盘等的精细形状、台阶和粗糙度。 此外,您可以从多种型号中进行选择,以适应您的应用。

  • 产品型号:ET4000A
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-05
  • 访  问  量: 154

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详细介绍

1. 产品概述:

ET4000A 是小坂研究所推出的一款多功能、全自动的微细形状测量机,在平板显示器(FPD)、晶圆、硬盘等纳米尺度的测量领域应用广泛

 

2. 设备应用

半导体行业:用于晶圆表面的形貌、台阶高度、粗糙度等参数的精确测量,对半导体芯片的制造工艺控制和质量检测至关重要,比如测量晶圆表面的薄膜厚度、刻蚀深度等。

平板显示领域:可检测 FPD 基板的表面平整度、段差、微观结构等,保障平板显示器的显示质量和性能,像液晶面板、OLED 面板等的相关测量。

硬盘制造:能够测量硬盘盘片的表面粗糙度、磁头飞行高度等关键参数,对于提高硬盘的存储密度和读写性能有重要意义。

精密加工行业:适用于各种精密机械零部件的表面形状、尺寸精度测量,有助于提升产品的加工精度和质量控制水平,例如精密模具、微型机械零件等的测量。

科研领域:为材料科学、纳米技术等科研项目提供高精度的微观形状测量数据,支持相关领域的研究和创新,如纳米材料的表面特性研究、微机电系统(MEMS)器件的形貌分析等

ET4000A:多功能全自动微形状测量机

特点:这款测量机具备多功能性,能够满足各种复杂的测量需求。

应用:非常适合需要高精度、多功能测量的应用场景,如科研、精密制造等。

 

ET4000L:可处理大尺寸的全自动微形状测量机

特点:这款测量机特别设计用于处理大尺寸样品,具有的稳定性和精度。

应用:非常适合需要测量大尺寸基板、晶圆等的应用场景,如平板显示器制造、半导体行业等。

 

ET4000M:合理、高性能、通用的微形状测量机

特点:这款测量机具有合理的价格、高性能和通用性,能够满足大多数测量需求。

应用:非常适合需要高精度测量但预算有限的应用场景,如质量控制、产品研发等。

 

ET4000系列全自动微形状测量机提供了多种型号选择,以满足不同应用场景和预算需求。无论您需要测量小尺寸还是大尺寸样品,高精度还是多功能性,ET4000系列都能提供合适的解决方案

 

 

3. 设备特点

高精度测量:具备出色的台阶再现性与线性度,保证测量结果的准确性和可靠性,例如在测量微小台阶高度时能精确到纳米级别。

超高真直度:确保量测图形不受干扰,可在真直度保证下进行长距离测量,有利于对大型工件或具有长行程特征的样品进行精确测量。

先进的检出器:采用超低噪音直动式 LVDT,超低测定力的触针可任意调节,既能满足不同测量需求,又能避免对被测物体表面造成损伤。

高分辨率定位:配备高分辨率的 CCD,可即时进行高精度定位测量,有助于快速准确地找到测量位置,提高测量效率。

多功能性:可对应各种国际规范,测定参数多达 60 多种,满足不同行业和应用场景对测量参数的多样化需求。

广泛的适用性:适用于各种与纳米材料有关的 MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜 / 化学涂层以及平板显示等领域,具有很强的通用性。

 

4. 产品参数(P5551A为例

测定工件

最大工件尺寸:210×210mm 至 300×400mm。

最大工件厚度:50mm。

最大工件重量:2kg。

检出器(pickup)

z 方向测定范围:max.100μm。

z 方向分解能:0.1nm。

测定力:0.5μN 至 500μN。

触针半径:0.5μm、2μm。

驱动方式:直动式。

x 轴(基准轴)

移动量(最大测长):100mm。

移动的真直度:0.005μm/5mm。

测定速度:0.005~2mm/s。

位置定位时速度:max.10mm/s。

线性尺(linear scale)分解能:0.01μm。

位置定位再现性:±5μm。

滑轨材质:在铸铁(CD - 5)上镀上硬质 Cr,无润滑(于移动台侧,使用铁弗龙折动材料)。

驱动:DC motor + dynamic belt。

y 轴(位置决定用)

移动量:52mm。

移动速度:max.3mm/s。

滑轨:cross roller 滑轨。

驱动:DC motor + 滚珠螺杆(p = 2mm)。

检出器自动停止机能。

工件台

工件台尺寸:210mm×210mm。

自动倾斜量:x 为 ±1mm/150mm,y 为 ±1mm/186mm。

分解能:0.25μm。

驱动:pulse motor。

其他

全自动量测功能。

工件观察:max.80 倍(可选购其它高倍率 CCD)。

床台材质为花岗岩石。

段差测定再现性:1δ,5a° 以内。

防振台(选购):落地型或桌上型。

电源:AC100V±10%,50/60Hz,800VA。

本体外观尺寸:W660×D580×H660mm(不含防震台)。


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