在喷涂法中，喷嘴将要涂抹的溶液喷在晶圆上。经过优化后的晶圆上方喷嘴移动路径可以实现在衬底上均匀的涂层。 喷涂所用的液体通常粘度极低，以确保形成细小的液滴

槽式湿法刻蚀清洗设备 应用领域：RCA清洗，湿法去胶，介质层湿法刻蚀，金属层湿法刻蚀，炉管前清洗等

充氮型程控烤胶机 产品性能： 1.充氮烤胶机是在普通基础上增加密封盖和氮气注入口，保证氮气均匀通入烤胶机内部形成惰性气体保护气氛。 2.充氮烤胶机最高温度可达到300℃，可实现控温在±0.2℃以内，温度分辨率在0.1℃，表面温度均匀性小于1%的精确控温

实验型匀胶机 技术参数： 1.适用基片尺寸：小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆，非标准基片可定制载物盘 2.自动滴胶功能 3.支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗、控温等功能模块个性化定制 4.转速范围：20-10000rpm 5.转速分辨率：±1rpm 6.加速度可调范围：20-50000rpm/s 7.单步时长：3000s 8.时间分辨率：0.1s