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Laurell的EDC-650-15B型匀胶机结构紧凑,具有先进的功能。这款650系列EDC系统将可容纳高达300mm的晶圆和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板。虽然这个系统有12,000RPM的能力带真空压紧装置,建议仅用于3,000RPM和非真空吸盘。
Laurell的EDC-650-8B匀胶机结构紧凑,具有先进的功能。这款650系列EDC系统将可容纳最大200mm晶圆和7英寸×7英寸(178mm×178mm)基板。虽然这个系统有12,000RPM的能力带真空压紧装置,建议仅用于3,000RPM和非真空吸盘。
Laurell的EDC-650-23B型匀胶机结构紧凑,具有先进的功能。这款650系列EDC系统将可容纳最大150mm晶圆和5英寸×5英寸(127mm×127mm)基板。虽然这个系统有12,000RPM的能力带真空压紧装置,建议仅用于3,000RPM和非真空吸盘。
Laurell的WS-650-15B型匀胶机结构紧凑,具有先进的功能。这款650系列系统将可容纳高达300mm的晶圆和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板,最大转速为12,000RPM(基于100mm硅片)。
laurell的WS-650-8 B 型匀胶机结构紧凑,具有先进的功能。这款650系列涂布机系统 将 可容纳最大200mm晶圆和 7英寸×7英寸 (178mm×178mm)基板,最大转速为12,000 RPM(基于100mm硅片)。