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SUSS MicroTec为热门化合物半导体工艺专门设计了一款新型光刻平台:MA100/150e Gen2掩模对准光刻机。化合物半导体工艺,是指诸如高亮发光二极管(HB-LEDs)、功率器件、RF-MEMS等方面的半导体应用。MA100/150e Gen2具备高精度对准功能,上至0.7µm的光刻分辨率,拥有为易碎、翘曲或透明晶圆片定制的传载系统等强大功能和配置。
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