卷绕式溅射设备SPW系列 SPW系列设备，是可在塑料薄膜上进行光学膜、金属膜等多层成膜的卷绕式设备。实施成膜室间的气氛分隔，可以使高性能的多层膜一次性成膜。

有机EL成膜设备SOLCIET, SATELLA, ZELDA系列。ULVAC面向有机EL材料开发提供实验用设备系统到量产Cluster系统设备和Inline系统设备。

iTops PVD ITO 溅射系统，加热能力、精确的温度控制、优异的真空能力.高晶体质量的氮化铝薄膜及优异的薄膜厚度均匀性。

Polaris系列8英寸 通用物理气相沉积系统，多种材料膜层工艺能力，低损伤，高深宽比填充能力。

eVictor Al PVD 铝物理气相沉积系统，先进的磁控溅射系统，有效提高薄膜均匀性及靶材利用率。

eVictor系列 8英寸通用物理气相沉积系统，加热基座设计，具备良好的温度均匀性，高温厚铝工艺连续作业无累温。