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概述 针对有机材料沉积进行了优化 多达 12 个 LTE 信号源;1cc、10cc或35cc容量 主体与掺杂剂比 1000:1 多达 4 个热蒸发源 基板快门 自动基板、掩膜存储和更换 高温计端口 手套箱接口设计,带滑动前门和滑动后门 KJLC eKLipse™ 控制软件 速率控制分辨率 0.05Å/s 基于配方的基于 PC 的系统控制 低温泵高真空泵 2位闸阀
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Kurt J. Lesker Company® NANO 36™ 溅射或热蒸发薄膜沉积系统是我们优化的入门级沉积系统。我们的腔室设计特别适合手套箱集成。NANO 36 具有更高的功能和更小的占地面积,提供了实惠的价格点,同时保持了您期望从 KJLC 获得的质量。