离子束沉积产品是因为它们能够生产具有高质量，致密和表面光滑的沉积薄膜。离子束技术提供了一种多样的刻蚀和沉积的方法，并可在同一设备上实现， 因而提高系统的利用率。我们的设备具有灵活的硬件选项，包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统规格与实际应用紧密协调，以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。

用 Veeco 的 SPECTOR® 离子束溅射 （IBD） 光学镀膜系统，实现更高的精度和薄膜工艺灵活性。SPECTOR IBD 光学镀膜系统具有多种夹具、目标组件的光学监控系统选项，可满足几乎所有光学薄膜制造应用的产量和器件性能要求。 SPECTOR 双离子束溅射系统

溅射镀膜设备SMD系列（立式） SMD 系列是镀金属膜、ITO、IGZO、诱电体膜等的枚叶式溅射镀膜设备。仅SMD系列就有超过1000台的丰富的采用实绩，在各种各样的生产环境下运转。及时反映从生产现场听取的意见，进一步提高设备的可靠性。

Load-lock式溅射设备是可对应从研究开发到小规模量产的溅射设备。这种设备通过在真空溅射室之前增加一个预真空锁室（Load-lock chamber），实现了基片在预真空环境下进行快速装卸，同时保持了溅射室的高真空状态。

批次式溅射设备SV系列 SV系列为纵型batch式溅射设备。为可以处理大量基板的回转型设备。

卷绕式真空蒸镀设备 EW系列 塑料薄膜、纸、金属箔等连续卷绕的同时，对金属和氧化物进行蒸镀的成膜设备。从小型的实验机到大量的生产设备，此外，还提供一系列用于包装材料，电容器，磁带等其他应用的型号。