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当前位置:首页  >  产品中心  >  半导体前道工艺设备  >  4 外延系统

  • GEN2000分子束外延MBE

    GEN2000® MBE 系统提供吞吐量、更长的活动周期、更小的占地面积和集群工具晶圆处理。它是 HBT 和 pHEMT 等无线通信设备大批量生产以及需要以低拥有成本生产 6 英寸的新兴应用的理想选择。

    更新时间:2024-09-05
    型号:GEN2000
    厂商性质:经销商
    浏览量:124
  • GEN200分子束外延MBE

    Veeco 的 GEN200® MBE 系统是当今市场上具成本效益和高容量的多 4 英寸生产 MBE 系统。该系统在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等设备的生长中提供吞吐量、长时间的加工周期和出色的晶圆质量。

    更新时间:2024-09-05
    型号:GEN200
    厂商性质:经销商
    浏览量:102
  • GEN20分子束外延MBE

    Veeco 的 GEN20™ MBE 系统是一种超灵活的工具,其设计可针对 III-V 族和新兴材料进行配置,包括需要集成电子束技术的应用。该系统采用生产设计技术,允许可选的集群工具晶圆传输系统,以实现理想的实验室到晶圆厂迁移。

    更新时间:2024-09-05
    型号:GEN20
    厂商性质:经销商
    浏览量:133
  • GENxcel R&D分子束外延MBE

    屡获殊荣的新型 GENxcel™ 系统是在 GENxplor 的基础上进行的扩展,GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以来畅销的 MBE 系统,与 GENxplor 系统的 3“ 功能相比,在单个 4 英寸衬底上具有高质量的外延生长。GENxcel 系统具有易于使用的手动传输系统、12 个源端口集成到单框架设计中的现代电子设备,可实现最大的实验室占地面积效率。

    更新时间:2024-09-05
    型号:GENxcel R&D
    厂商性质:经销商
    浏览量:117
  • GEN10分子束外延MBE

    GEN10™ MBE 系统是成熟平台中经济、最灵活的簇状工具系统,允许多达三个可配置的、特定于材料的生长模块。这使得系统利用率高,允许多个研究人员同时使用该系统,并在无人值守的情况下进行生长和校准。这与 Veeco 组件技术相结合,是 MBE 社区选择 GEN10™ MBE 系统的关键因素,无论应用是什么。

    更新时间:2024-09-05
    型号:GEN10
    厂商性质:经销商
    浏览量:97
  • GENxplor R&DMBE分子束外延系统

    GENxplor® R&D MBE系统获得了化合物半导体制造的CSindustry奖,采用Veeco成熟的3英寸生长室设计,并具工艺灵活性,非常适合UV LED、高效太阳能电池和高温超导体等新兴技术的材料研究。其高效的单框架设计将所有真空硬件与机载电子设备相结合,使其比其他 MBE 系统小 40%,从而节省宝贵的实验室空间。

    更新时间:2024-09-05
    型号:GENxplor R&D
    厂商性质:经销商
    浏览量:111
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