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  • SES系列8英寸多片硅外延系统

    SES系列 8英寸多片硅外延系统为单腔多片式硅外延设备,适用于4、5、6、8英寸的硅外延工艺。SES系列反应腔室采用多片平板式的结构,配合感应加热的方式实现高质量的外延薄膜生长,适用于厚度5-150µm范围的外延工艺,精确可调N型、P型掺杂。该设备智能化人机交互设计与高效的安全互锁保障了系统安全和稳定。

    更新时间:2024-09-05
    型号:SES系列
    厂商性质:经销商
    浏览量:167
  • customized刻蚀机终点检测系统

    刻蚀机终点检测系统 检测原理:通过特定波长谱线的强度变化来反映是否达到刻蚀终点。

    更新时间:2024-09-02
    型号:customized
    厂商性质:经销商
    浏览量:1324
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