GEN2000® MBE 系统提供吞吐量、更长的活动周期、更小的占地面积和集群工具晶圆处理。它是 HBT 和 pHEMT 等无线通信设备大批量生产以及需要以低拥有成本生产 6 英寸的新兴应用的理想选择。

Veeco 的 GEN200® MBE 系统是当今市场上具成本效益和高容量的多 4 英寸生产 MBE 系统。该系统在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等设备的生长中提供吞吐量、长时间的加工周期和出色的晶圆质量。

Veeco 的 GEN20™ MBE 系统是一种超灵活的工具，其设计可针对 III-V 族和新兴材料进行配置，包括需要集成电子束技术的应用。该系统采用生产设计技术，允许可选的集群工具晶圆传输系统，以实现理想的实验室到晶圆厂迁移。

屡获殊荣的新型 GENxcel™ 系统是在 GENxplor 的基础上进行的扩展，GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以来畅销的 MBE 系统，与 GENxplor 系统的 3“ 功能相比，在单个 4 英寸衬底上具有高质量的外延生长。GENxcel 系统具有易于使用的手动传输系统、12 个源端口集成到单框架设计中的现代电子设备，可实现最大的实验室占地面积效率。

GEN10™ MBE 系统是成熟平台中经济、最灵活的簇状工具系统，允许多达三个可配置的、特定于材料的生长模块。这使得系统利用率高，允许多个研究人员同时使用该系统，并在无人值守的情况下进行生长和校准。这与 Veeco 组件技术相结合，是 MBE 社区选择 GEN10™ MBE 系统的关键因素，无论应用是什么。

GENxplor® R&D MBE系统获得了化合物半导体制造的CSindustry奖，采用Veeco成熟的3英寸生长室设计，并具工艺灵活性，非常适合UV LED、高效太阳能电池和高温超导体等新兴技术的材料研究。其高效的单框架设计将所有真空硬件与机载电子设备相结合，使其比其他 MBE 系统小 40%，从而节省宝贵的实验室空间。