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SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC 搭载了高温ESC（静电吸附卡盘）的面向SiC量产用的高能粒子注入装置。
更新时间：2024-09-06
型号：IH-860DSIC
厂商性质：经销商
浏览量：259
研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500 中电流离子注入装置IMX-3500为大能量200keV、对应大晶圆尺寸8inch的离子注入装置，适用于大学等机构的研究开发。
更新时间：2024-09-06型号：IMX-3500厂商性质：经销商浏览量：212
高能对应离子注入设备SOPHI-400 可达2400KeV的高能离子注入设备。
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离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。
更新时间：2024-09-06型号：customized厂商性质：经销商浏览量：1101
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