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  • customized全自动SCRUBBER清洗机

    全自动SCRUBBER清洗机 简介: ​清洗机可以用于对晶圆表面,背面及晶圆边缘的清洗,通过创新研发的二流体喷嘴技术可将附着在晶圆表面的细微颗粒污染物去除。通过大量仿真与工艺试验相结合,优化出最佳的清洗工艺参数,确保不损伤晶圆表面的图形;对于微米级别大颗粒,采用特殊材料的毛刷或高压喷淋对晶圆进行擦洗去除。配合晶圆翻转装置和夹持式承片台,可在同一台设备中实现对晶圆的正反两面进行清洗。

    更新时间:2024-09-06
    型号:customized
    厂商性质:经销商
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  • customizedCMP后清洗机

    CMP后清洗机 简介: 该系列设备是晶圆CMP后的专用清洗设备,有单工位、转位式、连线式等不同结构,以适用不同应用场景,其中连线式设备加配全自动上下片系统。该系列设备配有漂洗、双面刷洗、兆声清洗、N2吹干、高速甩干功能,集成度高,占地面积小,湿进干出,适用于各类CMP后晶圆的清洗

    更新时间:2024-09-06
    型号:customized
    厂商性质:经销商
    浏览量:1182
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