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CGS-Lab单晶炉是PVA产品线中最小的直拉法晶体生长系统,专门为研究所和实验室设计。10 英寸热系统的设计用于最多 5 公斤的加料量和生长直径为 100 毫米、长度为 300 毫米的硅锭。设备开炉状态时高度为3.4米,对安装场地的高度要求相当低。晶体提升速度和旋转速度适用于生产特定尺寸的晶棒。
直拉法晶体生长系统SC 24单晶炉专为单晶硅晶体(硅锭)的工业生产而研发。该系统的模块化设计理念可根据客户的需求而进行灵活的调整。低能耗优化设计的24英寸热系统(热场)可以实现160公斤填料(无需加料器),生产直径 230 毫米 (9英寸) 的晶体。根据直径和装载量的不同,该设备可拉制的晶体最大长度为 2.9 米。拉晶速度最大可达到10毫米/分钟,晶转和埚转的转速高达35转/分钟。
直拉法晶体生长系统SC28单晶炉专为200-300毫米(8-12英寸)单晶硅的工业生产而设计。该系统可灵活配置,满足客户对产品的特殊要求,例如客户要求的炉室部件的旋出方向,或将各种不同的泵组和除尘罐系统连接到真空系统等要求。
直拉法晶体生长系统CGS1218单晶炉,专为符合半导体行业的严格要求而设计。该系统采用模块化设计,且可以配置钢丝软轴或硬轴。配合特殊的晶体轴配置能够达到最高的精度,因此确保了提拉速度的线性可调和可重复性。
使用 Veeco 的 Optium® ASL 200™ 研磨系统实现更高水平的控制和 TFMH 工艺产量。这种高精度硬盘头研磨系统可大程度地控制关键薄膜尺寸,并且设计用于轻松集成到自动化后端处理中。