PFS系列是SiC工艺等高温处理工艺中，配合使用的退火设备。可最大对应φ 150mm。

THEORIS A302L 12英寸立式低温退火炉，先进的压力控制系统,高精度温度场控制技术。

FLOURIS 201系列 8英寸立式炉，高精度温度场控制技术，可实现 1200℃ 内氧化退火工艺。

CIF透射电镜样品杆存储仪采用无油隔膜泵，通过抽真空产生100 Pa恒定洁净无污染的真空环境，特别适用于TEM透射电镜样品杆的日常真空储存或水汽去除，简单方便实用。

中央供药系统简介： 1.用于厂内供药，通过该系统可以按照设定的配比，将特定的药液通过相应的管路供应到制程中。 2.该系统供药配比精确，配方可根据客户需要进行编辑确认，容量大小根据客户需求进行定制。

动态功率器件分析仪/双脉冲测试仪 性能介绍： 1.作为现成的测量解决方案，PD1500A 可以对宽带隙半导体进行可靠且可重复的测量。 该平台不仅可以确保用户的安全性，还能够保护系统的测量硬件。 2.能够可靠、可重复测量宽带隙（SiC、GaN）功率半导体的动态特征 3.测量的特征包括开启、关闭、开关切换、反向恢复、栅极电荷以及其他许多特征