由德国UNITEMP研发的快速退火炉RTP-150，升温速率高达 75 K/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工艺周转时间短、舒适的气体控制、台式系统，占地面积小

由德国UNITEMP研发的符合高真空标准的快速退火炉，升温速率高达 200 K/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工艺周转时间短、舒适的气体控制、台式系统，占地面积小

德国UNITEMP研发的符合高真空标准的快速退火炉RTP-100-HV，升温速率可高达 150 K/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工艺周转时间短、舒适的气体控制、台式系统，占地面积小。

德国UNITEMP研发的符合真空标准的快速退火炉RTP-100-EP，升温速率高达 200 K/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工艺周转时间短、舒适的气体控制、台式系统，占地面积小

快速退火炉，升温速率高达 150 K/sec。

Veeco 的 LSA101 系统安装在的 IDM 和晶圆代工厂，是大批量制造 40nm 至 14nm 节点的先进逻辑器件的技术。LSA 101 的扫描技术基于 Veeco 的可定制 Unity 平台™构建，在均匀性和低应力处理方面具有根本优势。LSA101 系统可实现关键的毫秒级退火应用，使客户能够保持精确、有针对性的高加工温度，从而提高设备性能、降低泄漏和提高产量。 标准 LSA