多角度激光椭偏仪 SE 400adv PV 在 HeNe 激光波长为 632.8 nm 时，在纹理单晶和多晶硅片上提供抗反射单膜的膜厚度和折射率。可更换晶圆支架允许在多晶硅片和碱性纹理单晶硅片上进行测量。

SENTECH RM 1000 QC反射仪设计用于快速简单地测量透明或吸收基材上的透明和半透明薄膜的厚度，用于工业生产过程中的质量控制。该工具涵盖 20 nm 至 50 μm 的膜厚范围，可用于 100 μm 的测试图案。

SENTECH SENDURO®MEMS 提供配置灵活性，以满足生产控制和质量控制的要求。该工具可以配置反射法和椭圆偏振法中的μ点测量，以及提供准确测量位置的模式识别。所有测量都可以与边缘抓取技术相结合。

SpectraRay/4 是 SENTECH 专有的光谱椭圆偏振仪软件，包括椭圆、反射和透射数据的数据采集、建模、拟合和扩展报告。它支持可变角度、多实验和组合光度测量。 包括一个基于 SENTECH 厚度测量和文献数据的庞大而全面的材料数据库。大量的色散模型允许对几乎任何类型的材料进行建模。

SENTECH SENDIRA 专为红外 （FTIR） 而设计。这款紧凑的台式仪器包括吹扫椭偏仪光学元件、计算机控制的测角仪、水平样品平台、自动准直望远镜、商用 FTIR 和 DTGS 或 MCT 检测器。FTIR 在 400 cm-1 至 6,000 cm-1 （1.7 μm – 25 μm） 的光谱范围内提供出色的精度和高分辨率。

定制基于灵活模块的 150 mm 探针台 FormFactor为150 mm探针台引入了新的模块化概念。这将使您更容易以令人难以置信的价格配置个性化探头解决方案，以满足当前和未来的需求。只需选择一个基站，并根据需要添加任意数量的特定应用入门套件。